測量器具與被測零件都會(huì)因?qū)嶋H溫度偏離標(biāo)準(zhǔn)溫度和受力（重力和測量力）而產(chǎn)生變形，形成測量誤差。在測量過程中，控制測量溫度及其變動(dòng)、保證測量器具與被測零件有足夠的等溫時(shí)間、選用與被測零件線脹系數(shù)相近的測量器具、選用適當(dāng)?shù)臏y量力并保持其穩(wěn)定、選擇適當(dāng)?shù)闹С悬c(diǎn)等，都是實(shí)現(xiàn)小變形原則的有效措施。測量方法：單項(xiàng)測量和綜合測量：對(duì)個(gè)別的、彼此沒有聯(lián)系的某一單項(xiàng)參數(shù)的測量稱為單項(xiàng)測量。同時(shí)測量個(gè)零件的多個(gè)參數(shù)及其綜合影響的測量。用測量器具分別測出螺紋的中徑、半角及螺距屬單項(xiàng)測量；而用螺紋量規(guī)的通端檢測螺紋則屬綜合測量。通常用精密經(jīng)緯儀進(jìn)行，以其望遠(yuǎn)鏡的視準(zhǔn)面為基礎(chǔ)，從而測定目標(biāo)點(diǎn)的橫向偏離值。要求高度時(shí)可用準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡。張緊的弦線也可用作基準(zhǔn)線，并用讀數(shù)顯微鏡測量設(shè)備部件距離基準(zhǔn)線的垂距。激光束也可作為基準(zhǔn)線，有時(shí)使激光束經(jīng)菲涅耳波帶板干涉形成光點(diǎn)或亮十字絲像，配合光電接收靶進(jìn)行準(zhǔn)直測量，如果激光束在真空管道中傳輸，則波帶板準(zhǔn)直法精度可以達(dá)準(zhǔn)直長度的10的-7次方數(shù)量級(jí)。

 測量基準(zhǔn)是復(fù)現(xiàn)和保存計(jì)量單位并具有規(guī)定計(jì)量單位特性的計(jì)量器具。在幾何量計(jì)量領(lǐng)域內(nèi)，測量基準(zhǔn)可分為長度基準(zhǔn)和角度基準(zhǔn)兩類精密工程測量技術(shù)包括精密地直線定線、測量角度（或方向）、測量距離、測量高差以及設(shè)置穩(wěn)定的精密測量標(biāo)志。從測量方案設(shè)計(jì)、實(shí)地施測到成果處理和利用的各個(gè)階段中都要利用誤差理論進(jìn)行分析。為減小測量不確定度，應(yīng)盡可能遵守以下基本測量原則：基準(zhǔn)統(tǒng)一原則，測量基準(zhǔn)要與加工基準(zhǔn)和使用基準(zhǔn)統(tǒng)一。即工序測量應(yīng)以工藝基準(zhǔn)作為測量基準(zhǔn)，終檢測量應(yīng)以設(shè)計(jì)基準(zhǔn)作為測量基準(zhǔn)。