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PVD真空鍍層按照膜層應(yīng)用來(lái)分類可分為裝飾膜層和硬質(zhì)膜層:
裝飾膜層可以改善工件外觀裝飾性能和色澤同時(shí)使工件更耐磨耐腐蝕;硬質(zhì)膜層用于提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系數(shù),提高工件的使用壽命。
除油—去污—流水沖洗—去離子水沖洗—脫水
過(guò)清洗線后將工件掛到PVD治具上,放入烤箱烘烤干燥
電弧蒸發(fā)鍍膜
在高真空下通過(guò)兩導(dǎo)電材料制成的電極之間產(chǎn)生電弧放電,利用電弧高溫使電極材料蒸發(fā)。電弧源的形式有交流電弧放電、直流電弧放電和電子轟擊電弧放電等形式。
優(yōu)點(diǎn)薄膜純度高造價(jià)低適用于具有一定導(dǎo)電性的難熔金屬、石墨等
缺點(diǎn)
會(huì)飛濺出微米級(jí)的靶材料顆粒,影響薄膜質(zhì)量
利用高頻電磁場(chǎng)感應(yīng)加熱,使材料汽化蒸發(fā)在基片表面凝結(jié)成膜的技術(shù)。