電子潔凈廠房工藝?yán)鋮s水和純水管材的選擇

鋼襯塑管道、鋼涂塑管道，無論是絲扣連接、卡環(huán)連接、溝槽連接還是法蘭連接均不能保證外層金屬與水的完全隔離。

２    純水管道的選擇

   電子超純水通常為電阻率>15 MΩ·cm（25℃）的純水，而此時電阻率已經(jīng)不是重要的因素，需根據(jù)其他指標(biāo)的要求進(jìn)行具體分析。

（1）管材性能比較

   選擇管材的依據(jù)主要是管道的溶出物（見表1）及內(nèi)表面光潔度。主要應(yīng)用的管道有Clean-PVC管、潔凈PP管、PVDF管幾種。Clean-PVC管采用耐沖擊硬質(zhì)聚制造，其比普通PVC管含有較少的添加劑。

 對于大多數(shù)化學(xué)品和溶劑都具有很好的耐腐蝕性、抗紫外線和性能好、耐候性好、耐生物菌類的作用、氣體和液體阻隔性好、阻燃性好、發(fā)煙量少等優(yōu)點(diǎn)。聚偏二氟乙烯是一種純凈的材料，它不含任何添加劑，且其表面光滑，粗糙度小于0.2μm。制造商主要有喬治·費(fèi)歇爾管路系統(tǒng)有限公司（ GF ）、奧地利AGRU公司。PVDF管材質(zhì)為聚偏二氟乙烯，是一種高結(jié)晶度，熱塑性塑料，可用溫度/壓力范圍廣。2、無塵凈化工程在施工安裝過程中，各專業(yè)交叉配合作業(yè)量大，工序之間相互銜接要求高，因此，在施工時，必須制訂出詳盡的施工協(xié)作計(jì)劃，嚴(yán)格按照施工程序施工，保證環(huán)境潔凈、衛(wèi)生。其主要特性是力學(xué)強(qiáng)度高、韌性好、具有優(yōu)異的耐磨性、熱穩(wěn)定性和介電性，其純度高

以某電子廠為例，一期廠房純水系統(tǒng)未設(shè)置專門的除TOC紫外線燈，僅依靠制備過程中對TOC的去除，在運(yùn)行了若干年后，其回水管道TOC可以達(dá)到15ppm，而二期新建的純水系統(tǒng)，設(shè)置了的除TOC紫外線燈，在系統(tǒng)開始運(yùn)行階段的站房出口TOC，也只有50 ppm。正是由于這種特性，所以純水系統(tǒng)在投產(chǎn)前需經(jīng)過相當(dāng)長時間的沖洗運(yùn)行。以上各級別空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)與ISO14644-1中潔凈度等級（以≥0。

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回系統(tǒng)回，塵埃隨向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

　　3.復(fù)合式：

　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。2、涂料地面：具有水磨石優(yōu)點(diǎn)，較耐磨而不耐拖拽，基底處理要求高，易卷邊剝落，常用于藥廠的潔凈區(qū)。