系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)力由一伺服電動(dòng)缸和與之配套的驅(qū)動(dòng)器提供。電動(dòng)缸標(biāo)示行程120mm，輸出力為17kn，速度為100mm/s。電動(dòng)缸的伺服電機(jī)為松下MINASA4系列，型號(hào)為MSMA202P1H，額定功率為2.0kw；驅(qū)動(dòng)器型號(hào)為MEDDT736。系統(tǒng)上位控制單元為PC機(jī)和PCI控制卡。此外還包括加速度傳感器以及0.8m*0.6m的鋁合金振動(dòng)臺(tái)面和與之配套的基座和軌道等。

伺服電動(dòng)缸的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，隨著現(xiàn)在自動(dòng)化的普及，伺服電動(dòng)缸的使用頻率也越來越高，接下來電動(dòng)缸廠家就為大家解析伺服電動(dòng)缸在半導(dǎo)體裝備上的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)……伺服電動(dòng)缸在半導(dǎo)體裝備上的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)半導(dǎo)體設(shè)備即為利用半導(dǎo)體元件制造的電氣設(shè)備。半導(dǎo)體，指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測(cè)溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。

　　伺服電動(dòng)缸選型指標(biāo)：額定出力，單位N或者kgf

　　電動(dòng)缸的推力和拉力是一致的，并且在整個(gè)行程上所有的位置出力大小也是相同的，請(qǐng)根據(jù)實(shí)際需要選擇，并留好一定的余量。

　　伺服電動(dòng)缸選型指標(biāo)：定位精度，單位mm

　　一般指重復(fù)定位精度，選擇合適的精度有利于降低成本。

　　伺服電動(dòng)缸選型指標(biāo)：電源電壓，單位V

　　有多種的電壓選擇，有直流、交流等多個(gè)電壓段。