氣體傳輸泵氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：變?nèi)菡婵毡美帽们蝗莘e的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。羅茨真空泵(RootsVacuumPump)是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?，須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。這種泵分為往復(fù)式及旋片式兩種：（1） 往復(fù)式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)式運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。

干泵：國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。

選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，要能達(dá)到1mmHg。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到很好的配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。

羅茨泵的工作原理及其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵。08mbar的終l極壓力之間，都可運(yùn)轉(zhuǎn)使用．所以LEYBOLDPUMP的應(yīng)用范圍很廣，如食品包裝、金屬工業(yè)、石化工業(yè)、真空熱處理、真空吸著、藥劑科技、電子科技、半導(dǎo)體工業(yè)、真空電鍍、航太工業(yè)等用途。在泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn)，由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子彼此無(wú)接觸，轉(zhuǎn)子與泵腔壁也無(wú)接觸，其間通常有0.15~1.0mm的間隙，泵腔靠間隙來(lái)密封。

由于羅茨泵泵腔內(nèi)無(wú)摩擦，轉(zhuǎn)子可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，一般為1500~3000r/min，而且不必用潤(rùn)滑油，可實(shí)現(xiàn)無(wú)油清潔的抽氣過(guò)程。真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。泵的潤(rùn)滑部位僅l限于軸承和齒輪，以及動(dòng)密封處。泵沒(méi)有往復(fù)運(yùn)動(dòng)部件，故可實(shí)現(xiàn)良好的動(dòng)平衡。因而，羅茨泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速高，尺寸小可獲得大的抽速。