渦旋真空泵的主要性能表征參數(shù)

5.1.1間隙大小

   間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設(shè)計(jì)精度、加工精度和

裝配精度進(jìn)行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以

由式((2.11)計(jì)算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽氣速率

   理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉(zhuǎn)速和是否是雙側(cè)渦旋共同決定的一

個(gè)反映抽氣性能的參數(shù)，也叫幾何抽速。假設(shè)轉(zhuǎn)速為n(轉(zhuǎn)/秒)，并且該禍旋泵

為雙側(cè)渦旋，那么Sth可表達(dá)為下式:

                     S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分別為轉(zhuǎn)子和定子所形成的外層完整內(nèi)壓縮腔和外層完整外壓

縮腔的容積。、

   實(shí)際抽速是指泵實(shí)際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄

漏，其實(shí)際抽速S要低于理論抽速Sth，設(shè)P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，

Q。為總泄漏，則〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

則實(shí)際抽速為

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3極限壓力

   渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進(jìn)入氣體長期運(yùn)轉(zhuǎn)，在測試罩內(nèi)所能達(dá)

到的穩(wěn)定時(shí)的低壓力，用P。表示。此時(shí)泵的實(shí)際抽速S=O，令式((5.3)中的實(shí)際

抽速S=O，即可得極限壓力〔10)

(5.4)

進(jìn)口愛德華真空泵油過濾器A22304032

原裝進(jìn)口愛德華真空泵配件，Edward真空泵過濾器， Edward愛德華真空泵旋片，進(jìn)口愛德華真空

泵油，愛德華真空泵密封件/維修包等……，型號(hào)齊全，價(jià)格實(shí)惠。

愛德華過濾器主要作用：真空泵油過濾器是很多進(jìn)口真空泵品牌配置的一種油過濾裝置，主要過濾顆

粒雜質(zhì)粉塵，保持真空泵油質(zhì)量，提高真空泵使用壽命。

Edward愛德華半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽能電池制造集成解決方案提供商，是工業(yè)、制

藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用的真空技術(shù)。 這些泵結(jié)

構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需

求。

主要從事真空行業(yè)，銷售真空泵過濾器，真空泵葉片/滑片/石墨碳片，維修包/密封套

件，真空泵維修耗材。選擇比其爾的優(yōu)勢；擁有10年以上各類進(jìn)口真空泵技術(shù)專業(yè)，真空泵系統(tǒng)訂

制，真空泵維修/保養(yǎng)；如德國BUSCH普旭、德國Becker貝克、德國Rietschle偉力/里其樂、德國天

津Leybold萊寶、法國ALCATEL阿爾卡特、英國Edward愛德華、日本ULVAC愛發(fā)科，日本Orion好

利旺等品牌；

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。我們的GVDrystar泵能夠處理大量粉塵和水蒸汽，在保持高可重復(fù)性、高性能和高可靠性的同時(shí)不會(huì)帶來制程污染的風(fēng)險(xiǎn)。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。2,真空度達(dá)不到要求先檢查真空泵的氣密性,檢查是否漏氣,其次打開氣鎮(zhèn)閥,讓真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)30分鐘,抽干真空泵里面的壓縮蒸汽,排除壓縮蒸汽對(duì)真空泵的影響。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長 維修間隔。通過與各主要科學(xué)儀器制造商、大學(xué)院校和主要研究機(jī)構(gòu)的通力合作，我們能夠深入了解研究過程以及真空技術(shù)所發(fā)揮的作用。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

認(rèn)為真空泵機(jī)組內(nèi)密封水量不足，造成真空泵機(jī)組底部水量未充滿，氣水分離器內(nèi)的空氣漏入真空泵內(nèi)，使得真空泵內(nèi)的負(fù)壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。據(jù)此臨時(shí)采用手動(dòng)啟動(dòng)方式，先啟動(dòng)密封水泵運(yùn)行5min，然后再啟動(dòng)真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時(shí)將冷卻器進(jìn)行清理(發(fā)現(xiàn)冷卻器內(nèi)較臟)，保證了密封水量充足。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制電纜。采取以上措施后，在倒換真空泵組運(yùn)行過程中，未再有真空下降的異常發(fā)生。