微孔加工。但是，電火花加工的速度極低，加工的成本比較高，用于加工小孔的電極銅工的電子束功率密度高，可加工高硬度、高強度、高韌性、高脆性、高熔點的金屬材料和非金屬材料，加工使用的功率密度大約為109W/cm2，能量可集聚成φ1μm以下的光斑，故可加工數(shù)微米的孔，孔的加工效率很高，這主要取決于被加工件的移動速度。能實現(xiàn)通過磁場或電場對電子束的強度、位置進行直接控制，便于實行自動化加工，主要用于園孔加工，也可用于加工異形孔、錐孔、窄縫等。該種工藝方法屬于非接觸加工，因此工件本身不受機械力作用，不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。在真空狀態(tài)下進行，特別適合于加工易氧化的材料或純度要求高的單晶體、半導(dǎo)體等材料。

常規(guī)的或者是大家可以想象到的微孔加工的工藝有：沖壓加工，沖壓加工主要是針對孔徑在1.0mm以上，材料厚度在0.5mm以下的產(chǎn)品，并且主要針對孔數(shù)比較少的工件，因為密集型的工件沖壓模具是無法完成的。數(shù)控沖，數(shù)控沖是近幾年比較流行的工藝，數(shù)控沖具有、成本低的優(yōu)勢，數(shù)控沖是需要更換相應(yīng)的沖頭即可操作，不需要模具。數(shù)控沖主要針對的是大孔徑和低密度的工件，對于0.5mm以下的孔徑工件數(shù)控沖基本就沒有任何優(yōu)勢了。

微孔加工的測量方法有哪些？

對于孔深小于1mm的通孔，可以借助放大鏡比較粗略地觀察該孔內(nèi)壁的粗糙度。本研究采用反射式顯微鏡直接觀察孔口內(nèi)表面情況，作為實測粗糙度試驗的對照。對于孔深達4mm的微小孔內(nèi)壁粗糙度，顯然無法用此方法準確測量。由于所測量的微小孔孔徑較小，可控光源無法準確地深入孔內(nèi)，故無法用光干涉原理的方法測量。若采用直接接觸式測量方法，雖然探頭直徑比微小孔內(nèi)徑小，但與其連接的后續(xù)部分太大，使得探頭無法深入微小孔內(nèi)部進行直接測量。因此，筆者對微小孔采用剖分法，并用錐度為60°的輪廓儀對剖分后外露的微小孔內(nèi)表面進行直接測量，以取得準確數(shù)據(jù)。

微孔加工對精密零部件有什么要求？

對于精密零部件來說，加工是十分嚴格的，加工工序有進刀，出刀等。對于尺寸有具體要求，精度也有要求，比如1mm正負多少微米等，如果尺寸錯的太多就會成為廢品，這時就相當(dāng)于得重新加工，費時費力，有時甚至?xí)沟谜麄€加工材料報廢，這就造成了成本的增加，同時，零件是肯定不能用了。

對于微孔加工主要是尺寸方面的要求，比如圓柱直徑是多少，有嚴格要求，正負誤差在規(guī)定要求范圍之內(nèi)才是合格零件，否則都是不合格零件;長寬高也有具體嚴格要求，正負誤差同樣有規(guī)定，比如一個內(nèi)嵌式圓柱體(拿基本零部件為例)，如果直徑太大，超過誤差允許范圍內(nèi)，就會造成，插不進去的情況，如果實際直徑太小，超過誤差允許負值下限了，就會造成插進去太松，不牢固的問題發(fā)生。這些都是不合格產(chǎn)品，或者圓柱長度太長或太短，超出誤差允許范圍了，都是不合格的產(chǎn)品，是都要作廢的，或者重新加工，這樣必然會造成成本的增加。