微孔加工的剖分加工有兩種方法：一種是微小孔加工后再剖切，另一種是在緊密結合的兩塊光滑平板上沿結合縫打孔。由于孔徑微小，加工后剖切應屬薄板切割。此時為取得較高切割精度應使用激光切割。但由于切割光斑直徑較大(如薄板厚為5mm、要求切割速度為1.5m/min時，光斑直徑為0.2mm[6])，與所加工的微小孔直徑接近，切割后所剩余的微小孔內(nèi)表面太小，難以進行粗糙度測量；同時，為了保護微小孔內(nèi)壁在剖切時不受飛濺物的影響，通常在剖切前向微小孔內(nèi)先注入蠟等物質(zhì)以保護孔內(nèi)壁，但此時保護物對微小孔內(nèi)壁粗糙度測量結果的影響無法評估，因此采用這種剖切加工工藝時需非常慎重，以避免測量的困難。

  為此，它至少含有激光聚焦裝置和觀察瞄準裝置兩個部分。投影系統(tǒng)用來顯示工件背面情況。工作臺則由人工控制或采用數(shù)控裝置控制，在三坐標方向移動，方便又準確地調(diào)整工件位置。工作臺上加工區(qū)的臺面一般用玻璃制成，因為不透光的金屬臺面會給檢測帶來不便，而且臺面會在工件被打穿后遭受破壞。工作臺上方的聚焦物鏡下設有吸、吹氣裝置，以保持工作表面和聚焦物鏡的清潔。

微孔加工——電火花加工：   電火花加工是另一種微孔加工方式。它的原理是基于工件和工具（正負極）之間脈沖性火花放電時的電腐蝕現(xiàn)象來蝕除多余的金屬，以達到對零件的尺寸形狀和表面質(zhì)量預定的加工要求。電火花腐蝕的主要原因是：電火花放電時通道中瞬時產(chǎn)生大量的熱，達到很高的溫度，足以使金屬材料局部融化，氣化而被蝕除掉，形成放電凹坑。電火花加工方法對于材料的去除是靠放電時的電熱作用實現(xiàn)的，材料的可加工性主要取決于材料的導電性及其熱學性能，而幾乎與材料的力學性能無關。這樣就突破了傳統(tǒng)加工對刀具的限制，可以實現(xiàn)軟刀具加工硬的工件。更重要的是，由于加工中工具電極和工件不直接接觸，沒有機械加工宏觀的切削力，因此更適于加工低剛度工件和細微工件，而且可以得到相當高的精密性和性。 電火花加工的突出局限性是：主要用于加工金屬導電材料，而且一般加工速度比較慢。但總的來說，電火花這種需要加工力小，有相對加工精度保證的加工方法，將會在以后的微孔加工中受到更多的重視。

技術是20世紀80年代末出現(xiàn)的一種先進制造技術[2]。采用快速原型技術可以對產(chǎn)品設計進行快速評價和修改，以及時響應市場需求，提高企業(yè)的競爭能力。熔融沉積造型作為一種快速原型制造工藝，是指采用熱熔噴頭將處于半流動狀態(tài)的材料按CAD分層數(shù)據(jù)控制的路徑逐層擠出，堆積、凝固后形成整個原型或零件[3]。常見的用于FDm的噴頭口型直徑約為0.2mm，屬微小孔范圍。目前如此微小的孔可以使用電火花、高速鉆削以及激光等方法加工。激光加工工藝近年來發(fā)展較快，現(xiàn)在已經(jīng)可以用激光在紅、藍寶石上加工直徑為0.3mm、深徑比為50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦極細的激光束方便地鉆出直徑為0.1～0.3mm的微小孔[5]?？紤]到微小孔激光加工工藝的的優(yōu)點及其應用日益增加的趨勢，本文著重研究采用激光加工的微小孔內(nèi)表面粗糙度的測量。