影響鍍膜機(jī)磁控靶點(diǎn)火電壓的因素有哪些

靶材對點(diǎn)火電壓的影響

(1)陰極靶材的不同材質(zhì)，因?yàn)R射的能量閥值的不同，一般濺射“逸出功”較小的陰極靶材，其點(diǎn)火電壓和工作的電壓要低一些，反之則會(huì)高一些。(2)鐵磁性靶材(鐵、鈷、鎳、氮化鐵等)和鐵素體靶材，會(huì)偏轉(zhuǎn)和減少陰極濺射靶面磁場對磁控靶造成影響。靶面磁場的降低，使磁控靶需要很高的電壓才能點(diǎn)火起輝。(3)點(diǎn)火電壓與磁控靶靶材濺射面積和真空腔體的機(jī)械尺寸大小有關(guān)。靶材濺射面積大，或是真空腔體的機(jī)械尺寸大，相應(yīng)充入工作氣體的數(shù)量值較多，在同一陰-陽極電壓下，工作氣體例如氣電離出導(dǎo)電正離子和電子亦增多，導(dǎo)致點(diǎn)火電壓下降(在鍍膜時(shí)還會(huì)造成磁控靶濺射電壓一定程度上的降低)。

磁控濺射鍍膜靶電源的空載電壓

(1)靶電源輸出的空載電壓主要供磁控靶“點(diǎn)火起輝”用，其峰值電壓大體可分為三擋，即：800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。(2)大約在5KW以下的靶電源輸出空載電壓的峰-峰值Vp-p一般在1~1.3KV左右;5KW以上的靶電源其輸出的空載電壓的峰-峰值Vp-p大約在800~1KV;且電源功率越大,其輸出的空載電壓越接近偏小值。(3)鐵磁性靶材(鐵、鈷、鎳、氮化鐵)以及其它鐵素體靶材，在選用靶電源輸出的空載電壓時(shí)，須選擇靶電源輸出空載電壓峰-峰值Vp-p范圍的偏大數(shù)值。

鍍膜設(shè)備類型：

—空氣：(1)進(jìn)口和出口區(qū)配備動(dòng)態(tài)鎖定輥系統(tǒng)，確保帶材不間斷運(yùn)動(dòng)(2)帶材緩沖器、連接和分離裝置以及放置于鍍膜機(jī)前、后端大氣中的放卷機(jī)和收卷機(jī)，以保證連續(xù)生產(chǎn)(3)生產(chǎn)周期僅受限于靶材/真空腔體內(nèi)蒸發(fā)物儲(chǔ)存量

—分批式：(1)真空工藝區(qū)入口和出口處連接的卷軸裝載鎖定腔體，使用帶材閥隔開(2)可在不中斷工藝真空的前提下裝載和卸載卷軸(3)生產(chǎn)周期為1卷軸的時(shí)間，然后停止，進(jìn)行卷軸更換；帶材廢料長度約為工藝部分的兩倍(4)電子束工藝配備額外的檔板，用以補(bǔ)償卷軸更換

鍍膜模式：單面鍍膜：(1)所有鍍膜工具均位于帶材的一側(cè)(2)使用電子束(EB)工藝時(shí)，（一般情況下）帶材的底側(cè)將被鍍膜雙面鍍膜：(1)鍍膜工具均位于帶材的一側(cè)，卷材改變走帶方向(2)需要二次鍍膜與傳動(dòng)裝置配備

非接觸式鍍膜選項(xiàng)針對敏感的光學(xué)鍍膜，提供非接觸式機(jī)器概念。

真空鍍膜機(jī)實(shí)驗(yàn)專用設(shè)備的主要用途真空鍍膜技術(shù)分析

真空鍍膜機(jī)實(shí)驗(yàn)專用設(shè)備主要用于大專院校、科研單位、實(shí)驗(yàn)和研制之用。根據(jù)工藝要求研究出不同種類、不同規(guī)格、多功能的實(shí)驗(yàn)裝置，或?yàn)槟钞a(chǎn)品需要特研制的專用設(shè)備。

本公司從事真空鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)生產(chǎn)，有著豐富的鍍膜技術(shù)及設(shè)備的設(shè)計(jì)制造經(jīng)驗(yàn)。是集設(shè)備生產(chǎn)與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。本司提供多種型號(hào)多弧，磁控，中頻離子真空鍍膜機(jī)，并可為客戶量身訂制專用型號(hào)真空鍍膜機(jī)并提供從設(shè)備制造、安裝調(diào)試到生產(chǎn)工藝的一站式服務(wù)。本公司生產(chǎn)的系列裝搭生產(chǎn)線、系列高低溫、燃油、電熱烘干箱、系列環(huán)保噴臺(tái)等產(chǎn)品的單位。廣泛用于汽配、摩配、鞋業(yè)、工藝品、電器、機(jī)械等。是電鍍、電泳、噴漆、噴塑行業(yè)中不可缺少的設(shè)備。

磁控濺射鍍膜機(jī)的工作原理是怎樣的？公司擁有一支從事多年表面處理設(shè)備設(shè)計(jì)、并具有實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)隊(duì)伍及優(yōu)良素質(zhì)的施工隊(duì)伍。為滿足技術(shù)的不斷進(jìn)步及參與大型電鍍工程涂裝工種的建設(shè)，我公司與全國多名有時(shí)間經(jīng)驗(yàn)的工程師及電鍍添加劑骨干企業(yè)保持著密切技術(shù)聯(lián)系與合作，可以針對客戶要求，提供表面處理工藝及設(shè)備設(shè)計(jì)，提供設(shè)備的制造、安裝、調(diào)試及的售后服務(wù)。

鍍膜機(jī)真空機(jī)械選擇

鍍膜機(jī)真空機(jī)械選擇 鍍膜機(jī)真空機(jī)械選擇，真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 ⑴真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。　 ⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。