質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小。

質(zhì)量流量計簡介

質(zhì)量流量：

以單位時間內(nèi)流過某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）. 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值信號放大去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門。通過實時的流量檢測閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

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