要求

不銹鋼管件在現(xiàn)場安裝時方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統(tǒng)。整個系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃，以確保整個系統(tǒng)的潔凈度。供氣系統(tǒng)安裝完成后，根據(jù)要求進行相關的強度測試、密封測試和穩(wěn)定性測試。實驗室“氣體工程”是一項較為復雜，嚴謹?shù)南到y(tǒng)工程，需要專業(yè)的工程公司參與整體設計規(guī)劃。

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氣體管路要求

所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴格的地方。（比如通風柜）。氣體管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。氣體，如需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.5M；交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。

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智能氣路系統(tǒng)功能模塊

根據(jù)不同研究方向需求不同，智能氣路系統(tǒng)可以實現(xiàn)以下基本功能模塊：

氣體流量單獨控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接設定內(nèi)部質(zhì)量流量控制器（MFC）流量，設定范圍為2%-F.S.

電磁截止閥單獨控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關斷/開啟

自動分段進氣功能：按照客戶給出的流量設定值及時間長度自動完成分段進氣，客戶可針對流量實現(xiàn)二次編程，自動進氣

壓力報警和處理：配合壓力傳感器及電磁閥的聯(lián)動，用戶可自定義設定壓差上限與下限，實現(xiàn)壓差上限下限報警或關斷功能，保護實驗結果和氣路系統(tǒng)

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