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北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國(guó)Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢(shì): 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來曝光產(chǎn)量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時(shí)間 3. 根據(jù)曝光能量可以比較容易的調(diào)整側(cè)壁角度 4. 耐溫可以達(dá)到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據(jù)職業(yè)和環(huán)境的安全而設(shè)計(jì)。中國(guó)在2020年P(guān)CB產(chǎn)值有望達(dá)到311億美元,在2015-2020年期間,年復(fù)合增長(zhǎng)率略高于國(guó)際市場(chǎng),為3。
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正負(fù)光刻膠
正負(fù)光刻膠
光刻膠分負(fù)性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠;反之,對(duì)某些溶劑是不可溶的,經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。正膠的圖像與掩模板的圖像是一致的,故此叫正膠,利用這種性能,將光刻膠作涂層,就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。
一般來說線寬的用正膠,線窄的用負(fù)膠! 正性光刻膠比負(fù)性的精度要高,負(fù)膠顯影后圖形有漲縮,負(fù)性膠限制在2~3μm.,而正性膠的分辨力優(yōu)于0.5μm 導(dǎo)致影響精度,正性膠則無這方面的影響?!凹偃缥覀儼压饪虣C(jī)比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒有高質(zhì)量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無法做出一道佳肴。雖然使用更薄的膠層厚度可以改善負(fù)性膠的分辨率,但是薄負(fù)性膠會(huì)影響孔。同種厚度的正負(fù)膠,在對(duì)于抗?jié)穹ê透g性方面負(fù)膠更勝一籌,正膠難以企及。賽米萊德提供美國(guó)Futurrex的光刻膠的供應(yīng)與技術(shù)參數(shù)。
在光刻膠的生產(chǎn)上,我國(guó)主要生產(chǎn)PCB光刻膠,LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小, 2015年據(jù)統(tǒng)計(jì)我國(guó)光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,其中中低端PCB光刻膠產(chǎn)值占比為94.4%,半導(dǎo)體和LCD光刻膠分分別占比1.6%和2.7%,嚴(yán)重依賴進(jìn)口。據(jù)智研咨詢估計(jì),得益于我國(guó)平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國(guó)光刻膠市場(chǎng)需求,在2022年可能突破27。
縱觀全球市場(chǎng),光刻膠專用化學(xué)品生產(chǎn)壁壘高,國(guó)產(chǎn)化需求強(qiáng)烈。 化學(xué)結(jié)構(gòu)特殊、保密性強(qiáng)、用量少、純度要求高、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、品質(zhì)要求苛刻,生產(chǎn)、檢測(cè)、評(píng)價(jià)設(shè)備投資大,技術(shù)需要長(zhǎng)期積累。
至今光刻膠專用化學(xué)品仍主要被被日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國(guó)杜邦、美國(guó)futurrex、德國(guó)巴斯夫等化工寡頭壟斷。
NR9-3000PYNR9 8000光刻膠報(bào)價(jià)
四、前烘(Soft Bake)
完成光刻膠的涂抹之后,需要進(jìn)行軟烘干操作,這一步驟也被稱為前烘。前烘能夠蒸發(fā)光刻膠中的溶劑溶劑、能使涂覆的光刻膠更薄。
在液態(tài)的光刻膠中,溶劑成分占65%-85%。6,堅(jiān)膜堅(jiān)膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象,能使膠膜附著能力增強(qiáng),康腐蝕能力提高。雖然在甩膠之后,液態(tài)的光刻膠已經(jīng)成為固態(tài)的薄膜,但仍有10%-30%的溶劑,容易沾污灰塵。通過在較高溫度下進(jìn)行烘培,可以使溶劑從光刻膠中揮發(fā)出來(前烘后溶劑含量降至5%左右),從而降低了灰塵的沾污。同時(shí),這一步驟還可以減輕因高速旋轉(zhuǎn)形成的薄膜應(yīng)力,從而提高光刻膠 襯底上的附著性。
在前烘過程中,由于溶劑揮發(fā),光刻膠厚度也會(huì)減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。