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市場規(guī)模
中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定增長,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移。據(jù)WSTS和SIA統(tǒng)計數(shù)據(jù),2016年中國半導(dǎo)體市場規(guī)模為1659.0億美元,增速達(dá)9.2%,大于全球增長速度(1.1%)。首先光刻膠被從容器中取出滴布到置于涂膠機(jī)中的樣品表面,(由真空負(fù)壓將樣品固定在樣品臺上),樣品然后高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速由膠粘度和希望膠厚度確定。2016年中國半導(dǎo)體制造用光刻膠市場規(guī)模為19.55億元,其配套材料市場規(guī)模為20.24億元。預(yù)計2017和2018年半導(dǎo)體制造用光刻膠市場規(guī)模將分別達(dá)到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場規(guī)模將分別達(dá)到22.64億元和29.36億元。在28nm生產(chǎn)線產(chǎn)能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場主流半導(dǎo)體應(yīng)用廣泛,需求增長持續(xù)性強(qiáng)。近些年來,全球半導(dǎo)體廠商在中國大陸投設(shè)多家工廠,如臺積電南京廠、聯(lián)電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導(dǎo)體工廠的設(shè)立,也拉動了國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠市場需求增長。
光刻膠的重要性
在北京化工大學(xué)理學(xué)院院長聶俊眼里,我國雖然已成為世界半導(dǎo)體生產(chǎn)大國,但面板產(chǎn)業(yè)整體產(chǎn)業(yè)鏈仍較為落后。光刻工藝重要性二光刻膠的曝光波長由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13。目前,上游電子化學(xué)品(LCD用光刻膠)幾乎全部依賴進(jìn)口,必須加快面板產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心材料基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,才能支撐我國微電子產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展及國際“地位”的確立。
“假如我們把光刻機(jī)比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒有高質(zhì)量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無法做出一道佳肴?!比涨?,江蘇博硯電子科技有限公司技術(shù)部章宇軒在接受科技日報記者采訪時說。
NR77-20000P
正膠PR1-2000A1技術(shù)資料
正膠PR1-2000A1是為曝光波長為365 或者436納米,可用于晶圓步進(jìn)器、掃描投影對準(zhǔn)器、近程打印機(jī)和接觸式打印機(jī)等工具。PR1-2000A1可以滿足對附著能力較高的要求,在使用PR1-2000A1時一般不需要增粘劑,如HMDS。
相對于其他的光刻膠,PR1-2000A1有如下的一些額外的優(yōu)勢:
PEB,不需要后烘的步驟;
較高的分別率;
快速顯影;
較強(qiáng)的線寬控制;
蝕刻后去膠效果好;
在室溫下有效期長達(dá)2年。