氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級,儀器響應(yīng)快,氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。

氦質(zhì)譜檢漏儀適用領(lǐng)域

氦質(zhì)譜檢漏儀，在一般工業(yè)領(lǐng)域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題,同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏。 氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點

氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質(zhì)譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，氦質(zhì)譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用行業(yè)

單晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空爐 ，鍍膜機(jī)，互感器，避雷器，C-GIS組合電器，電力開關(guān)，真空滅弧室，高真空閥門 ，LED外延片，出口滅火器，X射線管，石化換熱器，磁流體，密封繼電器，氣體流量計 ，隔膜壓力變送器 ，氣體發(fā)生器  ，ITO鍍膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，壓力容器  ，化工容器，低溫儲罐  ，LNG 低溫氣瓶 ，玻璃燒結(jié)件，陶瓷密封連接器 ，陶瓷燒結(jié)件 ，TO封裝 ，高真空排氣臺，真空凍干機(jī) ，光器件，石英晶體諧振器，高壓開關(guān)，換熱器，電真空器件，SF6管路，波紋管，ITO設(shè)備，半導(dǎo)體，輻照電線電纜 交聯(lián)電線電纜，真空釬焊，真空熱處理等。