擴散泵超高真空機組

以擴散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來自擴散泵前級的氣體反擴散和阻擋機械泵油的反擴散對極限真空度的影響，可在擴散泵前級申聯一臺抽速小的擴散泵，以降低壓縮比，減小反擴散。如在擴散泵進氣口上邊增設鈦升華阱，可進一步降低來自擴散泵的氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的超高真空。

低真空抽氣機組

低真空抽氣機組的主要特點是工作壓力高、排氣量大,但抽速比高真空抽氣機組低,多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。低真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵、油封式機械泵、干式機械泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等直排大氣真空泵,使用低真空抽氣機組,還需要根據被抽氣的清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干燥阱等部件。

拉桿箱式補抽真空機組特點

1. 真空機組可檢測車載瓶夾層真空度，適合車載瓶檢測站年檢使用，不達標準的氣瓶可補抽至合格標準，保證氣瓶安全使用。

2. 適合汽車維修廠、LNG氣瓶生產廠家維修及售后服務等，來補抽LNG車載瓶夾層真空，可同時進行兩工位補抽。

3. 可以進行應急救援補抽真空，可用于浮式接收站、撬裝站以及船載的低溫容器進行真空補抽，根據具體情況維修時間一般為4—12小時。