氦質(zhì)譜撿漏儀檢漏方法

氦質(zhì)譜檢漏儀，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。在質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

正常運(yùn)行時(shí)，空氣經(jīng)過漏點(diǎn)被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大氣。試驗(yàn)時(shí)在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質(zhì)譜檢漏儀，在真空系統(tǒng)的漏點(diǎn)處噴氦氣，由于氦質(zhì)譜檢漏儀工作時(shí)能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體，有一部分被吸入到氦質(zhì)譜檢漏儀，由于氦分子質(zhì)量與其他分子質(zhì)量不一樣，通過磁場(chǎng)產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)磁力不一樣，氦質(zhì)譜檢漏儀上設(shè)計(jì)有一狹縫，剛好使氦分子通過而其他分子無法通過，這樣，通過狹縫后的氦分子打在收集板上，通過靶板計(jì)數(shù)，即可知道通過的分子數(shù)泄漏量的相對(duì)大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方式

1、示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測(cè)，容器外圍是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。

2、示蹤氣體A噴在容器外面，用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測(cè)容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能測(cè)知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用行業(yè)

單晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空爐 ，鍍膜機(jī)，互感器，避雷器，C-GIS組合電器，電力開關(guān)，真空滅弧室，高真空閥門 ，LED外延片，出口滅火器，X射線管，石化換熱器，磁流體，密封繼電器，氣體流量計(jì) ，隔膜壓力變送器 ，氣體發(fā)生器  ，ITO鍍膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，壓力容器  ，化工容器，低溫儲(chǔ)罐  ，LNG 低溫氣瓶 ，玻璃燒結(jié)件，陶瓷密封連接器 ，陶瓷燒結(jié)件 ，TO封裝 ，高真空排氣臺(tái)，真空凍干機(jī) ，光器件，石英晶體諧振器，高壓開關(guān)，換熱器，電真空器件，SF6管路，波紋管，ITO設(shè)備，半導(dǎo)體，輻照電線電纜 交聯(lián)電線電纜，真空釬焊，真空熱處理等。