隨著微機電技術(shù)的發(fā)展，如今的電容式加速度傳感器都普遍采用的MEMS技術(shù)制造。下圖顯示了一種MEMS變電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)，它的整個敏感元件由粘在一起的三個單晶硅片構(gòu)成。其中上、下硅片構(gòu)成兩個固定電極，中間的硅片通過化學刻蝕形成由柔性薄膜支撐的具有剛性中心質(zhì)量塊的形狀，薄膜的厚度取決于該加速度傳感器的量程。另外，在薄膜上還有刻蝕出的小孔，當薄膜隨質(zhì)量塊運動時，空氣流經(jīng)小孔從而產(chǎn)生所需的阻尼力。同時在丈量中采用激光三角丈量法和激光回波分析法兩種丈量方式，保證了丈量結(jié)果的快速性和精準性。由于采用MEMS技術(shù)得到了這種一體化的結(jié)構(gòu)，它的可靠性是相當高的。

振動傳感器的類型對振動進行監(jiān)控主要通過以下三種儀器：壓電加速計應變片傳感器渦流或電容位移傳感器壓電加速度計

加速度計是用于測量結(jié)構(gòu)的振動或運動加速度的設備，可以把振動或運動變化引起的機械力利用壓電效應轉(zhuǎn)化為電流。（傳感器離不開“壓電效應”）壓電加速度計有兩種類型，高阻抗和低阻抗。

高阻抗加速度計產(chǎn)生的電荷直接連接到測量儀器。

而低阻抗加速度計需要相關(guān)放大電路蔣信號進行放大,這種類型的加速度計可與標準儀器連接

如何選擇選擇振動傳感器時要考慮以下因素：范圍和精度環(huán)境條件測量表面的形狀這三個傳感器中加速度計是常見的，因為它具有良好的頻率范圍，意味著它可以檢測各種振動頻率，加速度計價格合理且經(jīng)久耐用。必須直接安被測機器上。

渦流傳感器或電容傳感器具有中等精度，并非高分辨率應用的選擇。它們非常耐用，非常適合在骯臟的環(huán)境中使用。就像加速度計一樣，它們也必須直接安裝到要監(jiān)視的機器上。

應變儀既通用又，同時仍適用于危險環(huán)境。不幸的是，它們可能很難正確安裝（要正確安裝的確困難，因為安裝不對就無法讓應變片與被測對象同步應變），并且使用應變片需要放大器，這會推高總價格。

傳感器工作原理簡單，測量功能強，故障少，發(fā)熱量低。直線導體f是直線導體一根交叉固定的非球形孔周邊軸承，成為一個導體。優(yōu)點：具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。解決了齒輪變速器的齒根嚴重磨損和螺紋間隙問題，解決了軸承的工作粘滯問題，幾乎符合軸承發(fā)熱量的要求。目前常用的原裝石英體型齒輪有直軸石英和傾斜軸石英兩種。直軸直軸在m以上的球齒輪被大多數(shù)專業(yè)采用。但是我國固定螺紋套筒中主要存在變差現(xiàn)象